Termék áttekintése
A Nice-Tech két tömeges-fémmaratási rendszert kínál különböző méretű lapkákhoz, mindkettő ICP technológián alapul, és az IC back-end (BEOL) fémfeldolgozásra szabva.
12 hüvelykes rendszer MES 12
A 12 hüvelykes IC BEOL 0,18 μm-es nagy sűrűségű Al összekapcsolására összpontosít. Tartalmaz ICP maratási kamrákat, tisztító kamrákat és egy átviteli modult, valamint támogatja az Al pad maratást is.
8 hüvelykes rendszerek MES 8
Két modell áll rendelkezésre: -MES 800 (Kisebb vagy egyenlő 8% az -ostyán belül/ Kevesebb vagy egyenlő, mint 5% ostya-to{6}}ostya egyenletessége, 8000 db/hó 4μm Al esetén) és MES 800P (Kisebb vagy egyenlő, mint {{1/2} 3% ostya---ostya egyenletesség, 20 000 db/hó 0,1 μm Al, 400 RF-h MTBC)
Előnyök
Nagy pontosság és stabilitás
12-hüvelykes rendszer 0,18 μm alatti folyamatokhoz illeszkedik; A 8 hüvelykes M2 jobb egyenletességet és hosszabb stabil működést biztosít (400 RF-h MTBC).
Kapacitás és költséghatékonyság
A 12-hüvelykes rendszer csúcskategóriás-nagyméretű-vonalakat szolgál ki; A 8 hüvelykes modellek rugalmas kapacitást (8000-20 000 db/hónap) biztosítanak helytakarékos kialakítással.
Széleskörű kompatibilitás
12 hüvelykes rendszer lefedi az Al csatlakozókat/betéteket; A 8 hüvelykes rendszerek támogatják a W mélyedést, és a Kessel Pishow M kompatibilis a 6 hüvelykes ostyákkal az opcionális ESC-n keresztül.
Alkalmazások
IC BEOL fém csatlakozók
12 hüvelykes rendszer 0,18 μm alatti 12 hüvelykes Al összekötőkhöz/betétekhez; 8 hüvelykes rendszerek 8 hüvelykes Al-feldolgozáshoz (M2 0,1 μm-es csomópontokhoz).
Több-méret/folyamat feldolgozás
A 8 hüvelykes MES 800 6 hüvelykes ostyákhoz illeszkedik; mindkét 8 hüvelykes modell támogatja a W mélyedést.
Kapacitás bővítése
A 12-hüvelykes rendszer segíti a nagy méretű készülékek csúcskategóriás-kapacitásának bővítését; 8-hüvelykes modellek (M a közepesen kis vonalakhoz, M2 a nagy hatékonyságú méretezéshez).
Paraméterek
|
Kategória |
12 hüvelykes fémmaratási rendszer (MES 12) |
8 hüvelykes fémmaratási rendszer (MES 800) |
8 hüvelykes fémmaratási rendszer (MES 800P) |
|
Ostya kompatibilitás |
12 hüvelykes (300 mm-es) IC lapkák; 0,18 μm alatti technológiai csomópontokhoz szabva |
8 hüvelykes IC ostyák; opcionális ESC-n keresztül kompatibilis a 6 hüvelykes ostyákkal |
8 hüvelykes IC ostyák; 0,1 μm-es technológiai csomópontokhoz optimalizálva |
|
Kamra konfiguráció |
ICP marató kamrák + tisztító kamrák + átviteli modul |
ICP maratási kamrák + átviteli modul |
ICP maratási kamrák + átviteli modul |
|
Kulcsfontosságú folyamatképességek |
Nagy-sűrűségű Al összekötő maratás, Al pad maratás (BEOL eljárások) |
Al összekötő maratás, Al pad maratás, W bemélyedés |
Nagy-pontosságú Al összekötő maratás, Al pad maratás, W bemélyedés |
|
Ech Uniformity |
Az iparágban-vezető egységesség-szabályozás a-0,18 μm nagy sűrűségű folyamatokhoz |
Legfeljebb 8% az ostyán belül-; Legfeljebb 5% ostya-to{4}}ostya |
Legfeljebb 5% az ostyán belül-; Legfeljebb 3% ostya-to{4}}ostya |
|
Havi kapacitás |
Csúcs{0}}12 hüvelykes IC BEOL tömeggyártásra optimalizálva (megfelel a nagy átviteli sebességnek) |
Akár 8000 darab/hó (4 μm{3}}vastagságú Al maratáshoz) |
Akár 20 000 darab/hó (0,1 μm{3}}csomóponti Al interconnect maratáshoz) |
|
MTBC |
Megfelel a 12- hüvelykes IC tömeggyártási stabilitási szabványainak |
Megfelel a 8 hüvelykes fab alapvető stabilitási követelményeknek |
Akár 400 RF-h (fokozott stabilitás a nagy-áteresztőképességű gyártás érdekében) |
|
Ipari megfelelőség |
Megfelel a félvezető tömeg{0}}gyártási szabványoknak a 12 hüvelykes IC BEOL vonalakra |
Megfelel a 8 hüvelykes IC nagy hely- és költségigényeknek; kompatibilis a főbb BEOL munkafolyamatokkal |
Nagy hatékonyságú,{0}}8 hüvelykes IC tömeggyártáshoz tervezték; megfelel a fejlett csomópont-stabilitási és hozamkövetelményeknek |
GYIK
K: Milyen szeletméreteket támogatnak a rendszerek?
A: 12 hüvelykes rendszer: 12 hüvelykes (300 mm-es) IC lapkák; 8 hüvelykes rendszerek: 8 hüvelykes IC lapkák (A MES 800 kompatibilis a 6 hüvelykessel opcionális ESC-n keresztül).
K: Milyen alapvető folyamatokat fednek le?
V: Minden támogatja az Al interconnect/pad maratást; A 8 hüvelykes modellek W Recess kompatibilitást biztosítanak.
K: Mennyi a 8 hüvelykes modellek havi kapacitása?
A: MES 800: 8000db (4μm Al); MES 800P: 20 000 db (0,1 μm Al).
K: Mi a MES 800P MTBC-je?
V: Akár 400 RF-h a továbbfejlesztett, nagy-áteresztőképességű stabilitás érdekében.
Népszerű tags: fémmaratási rendszer, kínai fémmaratási rendszer gyártói, beszállítói
