Termék áttekintése
Az SE Series Cu{0}}Ti Etching Integrated Equipment a félvezető speciális csomagolások speciális nedves marásáról szól,-melyet a 8–12 hüvelykes lapkák zökkenőmentes kezelésére terveztek. Ez egy teljesen testreszabható fémmaratási megoldás, így a beállításához igazíthatja: 2-8 kamrát választhat, és 2-4 SMIF POD vagy FOUP hordozóval működik.
A motorháztető alatt integrált vegyszerkezelés (CCSS/LCSS-támogatással) és sziklaszilárd folyamatvezérlés-pontos fűtésre, koncentráció-beállításokra és áramlás-/nyomásszabályozásra gondol. A biztonság sem mellékes: a túlmelegedés elleni védelem és a szivárgásérzékelés alapfelszereltség, így magabiztosan végezhet műveleteket. Ráadásul a teljes SECS/GEM kommunikáció azt jelenti, hogy közvetlenül illeszkedik a meglévő munkafolyamatokhoz.
Végül is ez a rendszer egy kulcsfontosságú feladatra készült: a hatékony Cu-Ti fémréteg maratására, amely a fejlett csomagolási folyamatok gördülékeny és megbízható működését biztosítja.
Előnyök
1. Formátum és konfiguráció rugalmassága
Támogatja a 8–12 hüvelykes ostyákat; 2-8 kamra (testreszabható) a gyártási mérethez igazodva.
Alkalmazható 2–4 SMIF POD/FOUP hordozóhoz, illeszkedve a régi/modern fab logisztikához.
2. Célzott fémmaratási képesség
Cu/Ti fémréteg maratására specializálódott, opcionális vegyi anyagokkal (marat, SC1+Megasonic stb.) a folyamatok testreszabásához.
3. Hatékony és költséghatékony-
Integrálja a vegyi visszanyerést és az osztályozott kipufogógázt (sav/bázis/szerves), hogy csökkentse az anyagpazarlást és a működési költségeket.
A precíz folyamatszabályozás biztosítja az egyenletes maratási minőséget a tételek között.
4. Biztonság és integráció
Beépített-túlmelegedés elleni védelem, szivárgásérzékelés és minősített vízelvezetés a biztonságos működés érdekében.
A teljes SECS/GEM támogatás lehetővé teszi a zökkenőmentes csatlakozást a nagyszerű MES-rendszerekhez.
Alkalmazások
Alapmező:Fejlett félvezető csomagolás.
Kulcsfolyamat:Cu (réz) és Ti (titán) fémrétegek nedves marása fejlett csomagolási munkafolyamatokban (fémréteg-mintázathoz, csomagolószerkezetek alátámasztásához).
Paraméterek
|
Specifikáció |
Részletek |
|
Ostya méret |
8-12 hüvelyk |
|
Chambers |
2-8 kamra (támogatja a testreszabást) |
|
Fuvarozó kompatibilitás |
2-4 SMIF POD/FOUP |
|
Támogatott kémiák |
Etchant,SC{0}}Megasonic,DHF,DICO2,N2(konfigurálható) |
|
Vegyianyag-ellátás támogatása |
CCSS, LCSS |
|
Folyamatvezérlési funkciók |
Fűtésszabályozás, koncentráció szabályozás, térfogatáram szabályozás, |
|
Kipufogógáz-kezelés |
Elválasztott kipufogó sav, bázis és szerves anyagok számára |
|
További funkciók |
Vegyi újrahasznosítás; fürdő túlmelegedés elleni védelem; Szivárgás |
|
Kommunikációs protokoll |
SECS/GEM |
|
Cél alkalmazási mező |
Speciális csomagolás |
GYIK
K: Milyen ostyaméreteket támogat ez a berendezés?
V: Kompatibilis a 8–12 hüvelykes ostyákkal, fejlett csomagolásban lefedi a gyakori formátumokat.
K: Beállítható a kamrák száma?
V: Igen,{0}}a kamra mennyisége testreszabható (2–8 kamra), hogy megfeleljen a gyártási méretnek.
K: Milyen szolgáltatókkal működik?
V: 2–4 SMIF POD/FOUP hordozót támogat, alkalmazkodva mind a régi, mind a modern fab logisztikai rendszerekhez.
K: Milyen anyagokat lehet maratni?
V: Cu (réz) és Ti (titán) fémrétegek nedves maratására specializálódott fejlett csomagolásban.
K: Vannak-e költségkímélő{0}funkciók?
V: Igen-az integrált vegyszer-visszanyerés és az osztályozott kipufogógáz csökkenti az anyagpazarlást és a működési költségeket.
K: Csatlakozhat a gyárunk MES-éhez?
V: Abszolút{0}}teljes mértékben támogatja a SECS/GEM kommunikációs protokollt a zökkenőmentes MES-integráció érdekében.
Népszerű tags: cu és ti marató, Kína cu és ti marató gyártók, beszállítók
