Minimális elemméret
Minimális kritikus méret (CD):
A minimális terepméret, más néven félmagasság a litográfiai gépek teljesítménymérésének egyik legfontosabb paramétere.
Köztük van egy állandó, amely a különböző litográfiai sémákban változik, ahol λ a bemeneti fényforrás hullámhossza, és NA a litográfiai gép optikai rendszerének numerikus apertúrája. Az állandóknál jelenleg az ASML hollandiai DUV litográfiai gépe 0,25 körüli maximumot érhet el, míg az EUV még mindig 0,35 körül van. Minél kisebb a bemeneti fényforrás hullámhossza, annál kisebb a tényleges fotolitográfiás eljárás. Az NA numerikus apertúra esetén ennek az értéknek a felső határa általában 1,0 a nem nedvesítő DUV-sémáknál, és körülbelül 1,35 a nedvesítő DUV-sémáknál. A nem merülő litográfiához képest a merülő litográfia gépek további folyadékot használnak a töréshez a litográfia során, általában tiszta vizet, amelynek törésmutatója körülbelül 1,33. Ez az oka annak is, hogy a merülő litográfiai gépek nagyobb NA-val rendelkeznek.
Gravírozás pontossága
Átfedési pontosság: A maszk és az ostyaminták közötti igazítási pontosság.
Az alapjelentés a két fotolitográfiai folyamat közötti mintázatok igazítási pontosságára vonatkozik. Ha az igazítási eltérés túl nagy, az közvetlenül befolyásolja a termék hozamát.
Expozíciós tolerancia
Expozíciós szélesség: A megvilágítási szélesség, más néven expozíciós határ, a folyamatablak egyik fontos paramétere. Az optikai megvilágítási rendszerek olyan expozíciós energiatartományt alkothatnak, amely megfelel a tervezési elrendezési követelményeknek. Általában az expozíciós energia kiválasztási tartománya határozza meg, amely az expozíciós eredmény által észlelt CD-érték változásának ± 10%-án belül van. Ha az exponált minta vonalszélessége viszonylag keveset változik, amikor a fotoreziszt eltér az optimális expozíciós dózistól, az azt jelzi, hogy a fotoreziszt nagy expozíciós toleranciával rendelkezik. Minél nagyobb az expozíciós tolerancia, annál nagyobb a fejlesztési tolerancia.
Az expozíciós tolerancia és a vetítési kép kontrasztja szorosan összefügg. Ha a kivetített kép jellemzői mérete gyenge képkontraszttal rendelkezik, akkor túl érzékeny lesz a dózismódosításokra
