Termék áttekintése
A Photoresist Stripping System csak 6–12{2}}-os ostyákhoz készült,-ideális fémemelés-mindenféle területen. 3 kamrás beállítással (áztatás, csupaszítás, tisztítás) készen áll, de ha többre van szüksége, személyre szabhatjuk a többfolyamatos üregeket a munkafolyamatnak megfelelően.
Mitől tűnik ki? Hasznos funkciók, mint például az NMP fűtés (szobahőmérséklettől 90 fok ±2 fokig) és a 30 MPa nagy-nyomású nyálkamentesítés-, valamint újrahasznosítja a folyamatfolyadékot, ami csökkenti a hulladék mennyiségét. Nem spóroltunk a teljesítményen és a biztonságon sem: az ultrahangos csupaszítás gyors és alapos fémeltávolítást tesz lehetővé, míg a beépített -CO₂ automatikus tűzoltó rendszer gondtalan-menti a műveleteket.
Előnyök
Széles ostya- és folyamatkompatibilitás
Támogatja a 6–12{2}} hüvelykes ostyákat; alkalmazkodik az áramellátó eszközök, szűrők, MEMS stb.
Hatékony csupaszítási teljesítmény
Egyesíti az NMP hőmérséklet-szabályozást, a 30 MPa nagynyomású-gumimentesítést és az ultrahangos csupaszítást az alapos fémeltávolítás érdekében.
Költség- és biztonságoptimalizálás
A folyamatban lévő folyadékok újrahasznosítása (szűrt újrahasználat) csökkenti a működési költségeket; A CO₂ automatikus tűzoltás biztosítja a biztonságos működést.
Rugalmas konfiguráció
Szabványos 3-kamra-beállítás + opcionális többfolyamatos üregek, a különféle gyártási igényeknek megfelelően.
Alkalmazások
Alapmezők:Tápegységek, szűrők, MEMS-ek (mikro{0}}elektromechanikai rendszerek) és más, félvezetőkkel{1}} kapcsolatos mezők.
Kulcsfolyamat:Fémfelemelés-(meghatározott fémrétegek eltávolítása nedves megmunkálással) az eszköz szerkezetének elkészítéséhez.
Paraméterek
|
Specifikáció |
Részletek |
|
Ostya méret |
6-12 hüvelyk |
|
Szabványos konfiguráció |
3 kamra (áztatás, csupaszítás, tisztítás) |
|
Opcionális konfiguráció |
Több folyamatüreg (testreszabható) |
|
NMP fűtési paraméterek |
Szobahőmérséklet ~90 fok ±2 fok |
|
Nagynyomású{0}}gumimentesítés |
Maximális nyomás: 30 MPa |
|
Kulcsfunkciók |
- Folyadékok újrahasznosítása (szűrt újrafelhasználás) |
|
Biztonsági rendszer |
CO2 automatikus tűzoltó rendszer |
|
Alkalmazási mezők |
Tápegységek, szűrők, MEMS stb. |
|
Alapfolyamat |
Fémemelés-(a fémrétegek nedves eltávolítása) |
GYIK
Milyen ostyaméreteket támogat ez a berendezés?
Kompatibilis a 6–12 hüvelykes ostyákkal, lefedi a tápeszközök, MEMS stb. általános formátumait.
Mi a standard kamra beállítás?
A szabványos konfiguráció 3 kamrát tartalmaz: áztató, lehúzó és tisztító kamrát (a személyre szabható több-folyamatos üregek is támogatottak).
Milyen hőmérséklet-tartományt támogat az NMP fűtés?
Az NMP-t szobahőmérsékletről 90 ± 2 fokra képes felmelegíteni, alkalmazkodva a különböző sztrippelési folyamatokhoz.
Mennyire erős a nagynyomású{0}}gumimentesítő funkció?
A nagynyomású{0}}gumimentesítés maximális nyomása eléri a 30 MPa-t, ami biztosítja a maradék anyagok alapos eltávolítását.
Vannak benne költségkímélő{0}funkciók?
Igen-a folyamatfolyadék újrahasznosítható és szűrhető újrafelhasználás céljából, csökkentve ezzel a működési költségeket.
Milyen biztonsági intézkedések vannak benne?
CO₂ automatikus tűzoltó rendszerrel van felszerelve, amely biztosítja a biztonságos működést a feldolgozás során.
Népszerű tags: fotoreziszt lehúzó rendszer, Kína fotoreziszt lehúzó rendszer gyártói, beszállítói


