Függőleges ostyaszárító

Függőleges ostyaszárító

A függőleges ostyaszárító – ez a precíziós konstrukció, kifejezetten ezen iparágak szigorú követelményeihez szabva.
A szálláslekérdezés elküldése
Leírás

Termék áttekintése

 

A függőleges ostyaszárítót -a pontosság szem előtt tartásával készítették, és kifejezetten ezen iparágak szigorú követelményeihez szabták.
Mitől praktikus? Kezdetben két független kamra van,{0}}így különböző folyamatokat futtathat egyidejűleg kereszt-szennyeződés nélkül, ami hatalmas idő-megtakarítást jelent a forgalmas gyártósorokon. Aztán ott van a fejlett vezérlőrendszer; nem csak "szabályozza" a dolgokat, hanem finoman-hangolja az összes paramétert, hogy a konzisztencia szilárd -megőrződjön. A legjobb pedig az, hogy egy egységben kombinálja a tisztítást és a szárítást,-nincs szükség az ostyák mozgatására a gépek között, ami csökkenti a kezelést és a sérülések kockázatát.


Végső soron a gyártók számára fontos a megbízhatóság és a tisztaság,{0}}ez a szárító pedig mindkettőt biztosítja. Ez az a fajta berendezés, amely nemcsak megfelel az ipari szabványoknak, hanem simán illeszkedik a valódi gyártócsapatok működésébe.

 

Alkalmazások

 

A függőleges ostyaszárítót az SPM savas tisztítás és a szerves tisztítás utáni szárítási munkák elvégzésére tervezték,{0}}két lépésben, ahol a maradékanyagok ellenőrzése a legfontosabb. Ezen túlmenően támogatja az utólagos szárítási-szükségleteket is a fotolitográfia fejlesztéséhez, a fotoreziszt eltávolításához, az ITO/BOE maratáshoz és a centrifugáláshoz. A legnagyobb előnye ennek a konzisztenciája: biztosítja, hogy ne maradjanak szennyeződések vagy részecskeproblémák, így a folyamat minőségét tételről tételre stabilan tartja.


Ez a függőleges ostyaszárító{0}}nagy téttel rendelkező alkalmazásokban is kiváló. A mikro-szenzorok és chipletek ostyaszintű csomagolása esetén 1/10 000- alatt tartja a töredezettségi arányt, ami közvetlenül költségmegtakarítást jelent a gyártók számára. Ezenkívül kiválóan alkalmas-hőmérsékletre érzékeny speciális ostyák, például gallium-arzenid és zafír feldolgozására. Ezek az anyagok kényesek, de a szárító megfelel az ultra-tisztaság és a csekély{12}}sérülési követelményeknek, így nem kell aggódnia a folyamattal kapcsolatos hibák miatt.

 

Előnyök

 

Mayrinth nitrogén tömítés, az üreg és az üreg szigetelése, nincs érintkezési tömítő hatás, a folyamat környezeti követelményeinek biztosítása érdekében.

Sokkoló online észlelés

Elektrosztatikus kiküszöbölő funkció, a termék nagy sebességgel statikus elektromosságot termel, nagyfeszültségű elektrosztatikus eltávolító eszköz használata a termék felületének semlegesítése érdekében

Mechanikus ön-reset funkció, állítsa le a készenléti chip dobozt felfelé nézve

 

Paraméterek

 

Kategória

Tétel

Specifikáció Részletek

Alapvető információk

Termék neve

Függőleges kétkamrás szárító

Modellszám

Féltiszta-QX-61-2M-A

Méret (referencia)

H × M × M=Felület szélesség 490 mm × mélység 937 mm × magasság 1880 mm

Súly (kb.)

260 kg

Process Cavity & Cassette

Folyamat üreg

Dupla üreg (felső és alsó), függetlenül vezérelhető; 6"-os testreszabott hordozórotort helyezhet el

Használt kazetta típusa

KM-40N (100 mm), A182-60 MB (150 mm)

Tisztítási és szárítási alkatrészek specifikációi

2db 4" egyedi rotorral felszerelve; a kazettát az ügyfél szállítja, a rotor részei a végső tervezési minták

Működési paraméterek

Folyamatidő beállítása

1s - 900s; karbantartási pontosság ±5% vagy annál kisebb

Működési sebesség

100-2500 ford./perc (termékjellemzők és folyamat szerint állítható); sebességhiba < ±2%

Kamrás szárítási hőmérséklet tartomány

Minimum: 45 foknál nagyobb vagy egyenlő; Maximum: 85 fok vagy annál kisebb

Száraztisztasági követelmény

0,3 μm-nél nagyobb vagy annál nagyobb részecskék < 30 szem/ostya

Berendezés UPTIME

95%-nál nagyobb vagy egyenlő; átlagos havi problémamentes{1}}munkaidő Több vagy egyenlő, mint 648 óra

Művelet töredezettségi ráta

Kisebb vagy egyenlő, mint 1/10000

Médiakövetelmények

Deionizált víz

Nyomástartomány: 0,2 ~ 0,4 Mpa; maximális térfogatáram: 0,7 m³/h

Nitrogén

Nyomástartomány: 0,5-0,6 Mpa; maximális fogyasztás: 18-20m³/h; fűtésre és tömítésre használják

Funkciók és védelem

Spray tisztítás

Permetezős tisztítóeszközzel és üreges öntisztító{0}}folyamattal felszerelve

Tömítés működés közben

A kamraajtó és a motortengely nitrogénnel tömített

Szivárgás észlelése

Beépített{0}}szivárgásérzékelő; szivárgásriasztást indít el a szivárgás elkerülése érdekében

Folyamatvédelem

A folyamat befejezése után az interfész nem működtethető, ha az ajtót nem nyitják ki a termékek kivételéhez, elkerülve ezzel a másodlagos működést

Vezérlőrendszer

Core Control

PLC programozható vezérlés; 10 folyamatszakaszt ment (10 lépés szakaszonként); a felhasználók szükség szerint be- és kikapcsolhatják az egyes al-funkciókat

Engedélyek ellenőrzése

2 típusú működési engedély-vezérlés, mindegyik engedélyjelszóval van konfigurálva

Kijelző funkció

A képernyőn minden folyamat információi jelennek meg

Vezérlési mód és interfész

Mindegyik kamra egymástól függetlenül vezérelhető; kezelőfelület: LCD érintőképernyő

 

GYIK

 

Mely iparágak számára készült ez a függőleges ostyaszárító?

Elsősorban a félvezető- és mikroelektronikai szektorra szabott{0}}gondoljon olyan forgatókönyvekre, ahol a nagy-tisztaságú szelet szárítás nem-tárgyalható. Kialakításának minden része ezen iparágak egyedi igényeihez igazodik.

Milyen alapfolyamatokat tud kezelni?

Lefedi a legfontosabb ostyafeldolgozási lépések egész sorát. Konkrétan gondoskodik az SPM savas tisztítás utáni utólagos-szárítási munkáról, a szerves oldószeres tisztításról, a fotolitográfiás előhívásról, a fotoreziszt eltávolításáról, az ITO/BOE maratásról és a centrifugálásról-minden olyan kritikus pontról, ahol az alapos szárítás számít.

Milyen előnyökkel jár a kettős{0}}üreges kialakítás?

A felső és az alsó üreg egymástól függetlenül működik,{0}}mindegyik külön-külön vezérelhető. Ez azt jelenti, hogy egyszerre mindkettőben feldolgozhatja az ostyát, ami valóban növeli a gyártás hatékonyságát. Ráadásul, ha a különböző folyamatokhoz különböző paraméterekre van szükség, minden üreg tökéletesen képes kezelni a saját beállításait.

Mi a tisztasági szabvány szárítás után?

Elég szigorú, és jó okkal. Szárítás után minden ostya kevesebb, mint 30 0,3 μm-es vagy nagyobb részecskét tartalmaz. Ez megfelel a félvezetőgyártás magas-tisztasági követelményeinek.

Könnyen kezelhető?

Teljesen. LCD érintőképernyővel és PLC-vel programozható vezérléssel-nagyon intuitív. Legfeljebb 10 folyamatszakaszt tárolhat, és mindegyik szakasz 10 lépésből állhat. A biztonság érdekében kettős-engedélyes jelszókezelés is rendelkezésre áll. Még az új kezelők is gyorsan átveszik az alapokat.

Mennyire megbízható a berendezés?

Működési stabilitása nagy értékesítési pont. A berendezés UPTIME eléri legalább a 95%-ot, és havonta átlagosan 648 órát vagy még többet üzemel gond nélkül. Még jobb, ha az ostya töredezettségi aránya működés közben nem haladja meg az 1/10 000-et,{6}}így nem veszít sokat a berendezés hibái miatt.

Milyen adathordozóra van szükség a működéséhez?

Csak két típus: ioncserélt víz és nitrogén. Az ionmentesített víznek 0,2-0,4 Mpa közötti nyomásra van szüksége, 0,7 m³/h maximális áramlás mellett. A nitrogén 0,5-0,6 Mpa nyomást igényel, és legfeljebb 18-20 m³/h-t használ. Tisztításra, fűtésre és tömítésre használják őket – mindegyik kulcsszerepet játszik a munka megfelelő elvégzésében.

 

Népszerű tags: függőleges ostyaszárító, kínai függőleges ostyaszárító gyártók, beszállítók

A szálláslekérdezés elküldése