Termék áttekintése
Függőleges kemencecsövünk egy speciális hőfeldolgozási megoldás, amely összetett félvezető és optoelektronikai gyártáshoz készült. Úgy tervezték, hogy konzisztens, megismételhető hőkörnyezetet biztosítson a kritikus ostyafolyamatokhoz, a robusztus mechanikai kialakítás precíz hőmérséklet- és gázszabályozással kombinálva, hogy támogassa a nagy-volumen gyártást szűk folyamatablakok mellett.
Előnyök
Stabil, megbízható teljesítmény: A rendszert hosszú -alacsony-leállási idejű működésre tervezték, egyenletes termikus egyenletességgel és a folyamat megismételhetőségével, amely segít fenntartani a magas hozamokat a gyártási folyamatok során.
Erős biztonsági biztosítékok: A réteges biztonsági reteszrendszer folyamatosan figyeli a hőmérsékletet, a nyomást és a gázviszonyokat, automatikusan reagálva az anomáliákra a kezelők, a lapkák és a berendezések védelme érdekében.
Intuitív, hatékony működés: Az interfész és a munkafolyamat leegyszerűsített a képzési idő és az emberi hibák csökkentése érdekében, míg az optimalizált betöltési és folyamatciklusok javítják az általános teljesítményt és a karbantartás egyszerűségét.
Rugalmas folyamatlefedettség: Kompatibilis a 6 hüvelykes és 8 hüvelykes ostyákkal, futásonként akár 150 darabot is képes tárolni, és 400 foktól 1250 fokig működik, így a modern készülékgyártás számos hőfokára alkalmas.
Alkalmazások
Ez a függőleges kemencecső támogatja a félvezető- és optoelektronikai gyártásban használt hőfolyamatok teljes skáláját:
Oxidáció: jó minőségű{0}}dielektromos rétegek kialakítása az ostya felületén
Lágyítás: feszültségmentesítés, hibák javítása és az anyag elektromos tulajdonságainak hangolása
Ötvözet: vékony{0}}filmötvözetek összetételének és teljesítményének beállítása
PI keményedés: polimer térhálósítás és stabilizálás poliimid rétegekhez
Vékony{0}}film-lerakás: Poly, TEOS, SiN, HTO és más kulcsfontosságú filmnövekedési folyamatok
GYIK
K: 1. Mi az a függőleges kemencecső?
V: A függőleges kemencecső nagy-precíziós hőfeldolgozó berendezés félvezető- és optoelektronikai gyártáshoz, amelyet oxidációra, izzításra, ötvözésre, PI-kezelésre és vékonyréteg-leválasztásra használnak.
K: 2. Milyen folyamatokhoz használják a függőleges kemencecsövet?
V: Támogatja az oxidációt, a lágyítást, az ötvözést, a PI-kezelést, a poli-, TEOS-, SiN-, HTO- és más vékonyréteg-növekedési folyamatokat.
K: 3. Milyen ostyaméreteket és hőmérsékleti tartományt támogat?
V: Támogatja a 6 hüvelykes és a 8 hüvelykes ostyákat (legfeljebb 150 darab tételenként), 400-1250 fokos folyamathőmérséklet-tartományban.
K: 4. Melyek ennek a függőleges kemencecsőnek a legfontosabb előnyei?
V: Nagy megbízhatóság és stabilitás, teljes biztonsági reteszrendszer, felhasználóbarát működés, nagy hatékonyság és kiváló folyamategységesség.
K: 5. Könnyen kezelhető és karbantartható?
V: Igen, egyszerű felülettel, leegyszerűsített munkafolyamattal és alacsony karbantartási igényekkel rendelkezik.
K: 6. Testreszabható bizonyos folyamatokhoz?
V: Igen, testreszabást kínálunk a hőmérséklet, a gázrendszerek, a folyamatreceptek és a töltési módszerek számára a speciális igények kielégítésére.
Népszerű tags: függőleges hőfeldolgozó kemence, Kína függőleges hőfeldolgozó kemence gyártói, beszállítói
