Termék áttekintése

Az Automatic RTP Equipment kompatibilis a 8-12 hüvelykes ostyákkal, egy-/két{7}}üreges kialakítással, és kifejezetten tömeggyártásra tervezték. A robotokat és más alkatrészeket integrálva teljesen automatizált szelettöltést, lágyítást és hűtést valósít meg. Képes interfészelni a termelésirányítási rendszerekkel, és különböző folyamatokat támogat egyetlen szelethordóban. A precíz hőmérséklet-szabályozás és a stabil működés (ostyatörési arány 1/10000-nél kisebb vagy egyenlő), több biztonsági védelmet is tartalmaz, és alkalmas nagy pontosságú izzítási folyamatokhoz félvezető- és egyéb területeken.

Jellemzők

Különböző szélességű és kamraszámú felszerelési lehetőségek állnak rendelkezésre, amelyek mindegyike egyenletes teljesítményt biztosít a legfontosabb paraméterek között.

Nyitott kazettás és SMIF-beállításokkal egyaránt működik, és automatikusan kezeli a teljes folyamatot,{0}}a hozzárendeléstől és igazítástól a szeletátvitelig, lágyításig és hűtésig.

A szoftver lehetővé teszi, hogy előre beállított recepteket válasszon az egyes ostyákhoz ugyanabban a kazettában, miközben folyamatosan tájékoztatja Önt a valós idejű feldolgozás állapotáról.

Ez a teljesen automatizált rendszer zökkenőmentesen integrálódik a meglévő EAP/MES infrastruktúrába a zökkenőmentesebb munkafolyamat-koordináció érdekében.

A telepítés és a hibakeresés során az értékesítés utáni

Előnyök

A fűtéshez kettős infravörös halogén lámpát használva, gyors nitrogénhűtéssel párosulva a rendszer hatékony és stabil hőkeringéssel büszkélkedhet.
A dedikált lámpacsoportosítás egyenletesebb hőmérsékletet biztosít a feldolgozási területen.
A beépített -PID-szabályozási algoritmus lehetővé teszi a lámpateljesítmény valós-módosítását, a pontos hőmérséklet-szabályozást a folyamat során.
A három-szintű felhasználói hozzáférés-kezelés kényelmes és biztonságos információkezelést biztosít. A fő szoftver interfész valós időben jeleníti meg a legfontosabb paramétereket, például a gáz áramlási sebességét, hőmérsékletét és vákuumszintjét, így világos áttekintést nyújt az állapotról.
A rendszer automatikusan elmenti az összes folyamattal kapcsolatos adatot{0}}a későbbi könnyű nyomon követhetőség érdekében.
Átfogó anomáliák elleni védelmi mechanizmussal rendelkezik, amely azonnali védelmet indít el hiba észlelésekor, beleértve a túlmelegedést (vízhűtéses alumíniumötvözet kamra, legfeljebb 70 fok), rendellenes hőelem értékeket, rendellenes fűtőteljesítményt, kinyitott kemenceajtót, túlzott gáznyomást, elégtelen vízáramlást és vízszivárgást.
A vészleállító funkció egyetlen gombbal indítható, azonnal megszakít minden folyamatot és lekapcsolja a hőforrást.

Paraméterek

Modell	RTP-200	RTP-300
Ostya méret	8 hüvelyk és az alatti 12 hüvelykes és az alatti	8 hüvelyk és az alatti 12 hüvelykes és az alatti
Kamara száma	1	2
Töltse be a kazetta számát	2	2 vagy 3
Töltse be a kazettát Módszer	SMIF vagy Open Cassette
Méret	1600mm × 2450mm × 2200mm (W×D×H)	2100mm × 2450mm × 2200mm (W×D×H)
Hőmérséklet tartomány	RT ~ ~ 800 fok (hőmérővel vezérelve) 500 fok ~ 1250 fok (pirométerrel vezérelve)	RT ~ ~ 800 fok (hőmérővel vezérelve) 500 fok ~ 1250 fok (pirométerrel vezérelve)
Max fűtési teljesítmény	150 fok /s---Csak ostya 20 fok /s---SiC hordozó 30 fok /s---Grafit hordozóbevonat SiC	150 fok /s---Csak ostya 20 fok /s---SiC hordozó 30 fok /s---Grafit hordozóbevonat SiC
A hőmérséklet egyenletessége	±3 fok vagy annál kisebb @ 600 fok vagy annál kisebb Kisebb vagy egyenlő, mint ±0,5% @ ＞600 fok	±3 fok vagy annál kisebb @ 600 fok vagy annál kisebb Kisebb vagy egyenlő, mint ±0,5% @ ＞600 fok
Hőmérséklet-ismételhetőség	±1 fok	±1 fok
Lámpák/SCR-ek száma	33 ea / 10 szett	45 ea / 16 szett 55 ea / 24 szett
Max MFC	6	6
Legalacsonyabb nyomás	30 mTorr	30 mTorr
Szivárgási arány	10 mTorr/perc	10 mTorr/perc
O₂Százalék	＜1 ppm	＜1 ppm
Automatikus	OCR+robot (kétkarú)+ujjak (vákuum/Bernoulli)+igazító+hűtőállomás
WPH (előrejelzés)	5
Üzemidő	＞92%
Átlagos tisztítási idő (MTTC)	Kevesebb, mint 6 óra vagy egyenlő
Átlagos javítási idő (MTTR)	Kevesebb, mint 4 óra vagy egyenlő
Meghibásodások közötti átlagos idő (MTBF)	200 óránál nagyobb vagy egyenlő
Mean Wafers Between Breakage (MWBB)	10 000 ostyához kevesebb vagy egyenlő
Max/ Átl. teljesítmény	90/60 Kw (ATS-8) 100/80 Kw (ATS-12)	180/120 Kw (DTS-8) 200/160 Kw (DTS-12)
Feszültség	380V/ 60HZ/ 3 fázisú 5 vezeték	380V/ 60HZ/ 3 fázisú 5 vezeték
Ellenőrzési módszer	PC-vezérlés	PC-vezérlés

GYIK

Az Automatic RTP Equipment kompatibilis a 8/12 hüvelykes ostyákkal? A 12 hüvelykes gyártáshoz szükséges a berendezés cseréje?

Teljesen kompatibilis. A nagyítás csak szoftverparaméter-beállításokat igényel; nincs szükség berendezéscserére, csökkentve a költségeket.

Integrálható a meglévő EAP/MES rendszerekkel? Ez hatással lesz a gyártósorra?

Zökkenőmentes integráció lehetséges. A mérnökök helyszíni hibakeresést végeznek majd-, javítva a gyártósor hatékonyságát és konzisztenciáját.

Beállíthatók-e különböző folyamatok ugyanahhoz az ostyatartóhoz? Bonyolult a művelet?

Támogatja a „több folyamatot hordónként”. A szoftver interfész lehetővé teszi az egyszerű kiválasztást és beállítást, amely nem igényel további képzést.

Van-e biztonsági védelem vészhelyzet esetére? Károsíthatja az ostyákat, vagy megsérülhet a személyzet?

Vészleállítással és automatikus kockázatészlelési védelemmel rendelkezik, hogy megvédje az ostyákat és a személyzetet.