A Coating and Developing System egy gyártmány-vagy-megszakító eszköz a félvezetőgyártásban,-teljesítménye közvetlenül befolyásolja az áramkör pontosságát, a gyártási hatékonyságot és a végső hozamot. Ha elakadt a megfelelő modell kiválasztásakor, itt van egy-nem értelmes útmutató a zaj csökkentéséhez:
1. Kezdje a tényleges használati esettel
Ne ugorjon bele először a specifikációkba,{0}}térképezze fel, mire használja valójában:
Tömeggyártó sorok(gondoljunk csak a tápegységekre, a LED-gyárakra): Az áteresztőképesség és a megbízhatóság előnyben részesítése. Cél a WPH (ostya óránként) legalább 150, az MTBF (átlagos meghibásodások közötti idő) több mint 1000 óra, és a 95%-os vagy magasabb üzemidő-nem engedheti meg magának a gyakori állásidőt.
K+F laborok vagy kis{0}}kötegelt projektek: A rugalmasság a legfontosabb. Keressen olyan felszerelést, amely több folyamattal is működik (I vonal, PI, PR stb.), és képes kezelni a trükkös ostyákat -elvetemült, négyzet alakú vagy páratlan méretű-.
Specifikus chipigények:
2-6 hüvelykes összetett félvezetők vagy LED-ek? Az UTW-1500 vagy UTW1500X megfelel a számnak.
8-12 hüvelykes csúcskategóriás chipek vagy CoWoS csomagolás? Az UTW-3000 az egyetlen, amely támogatja ezeket a nagyobb ostyákat.
2. Koncentráljon azokra a specifikációkra, amelyek valóban számítanak
Nem kell minden számot megjegyeznie,{0}}ezek a legfontosabbak:
Pontosság: A minimális vonalszélesség (350 nm alapalkalmazásoknál, 45 nm csúcskategóriás chipeknél) és ostyatörési arány (legfeljebb 0,01%- kell lennie, még az apró veszteségek is összeadódnak).
áteresztőképesség: A WPH 150 (UTW1500X) és 200 (UTW-3000) között mozog – válassza ki azt, ami megfelel a gyártási ütemének.
Kompatibilitás: Győződjön meg arról, hogy illeszkedik az ostya méretéhez (2-12 hüvelyk) és a kazettához (SMIF, OPEN CASSETTE vagy FOUP a tisztább környezethez).
3. Ne hagyja figyelmen kívül az apró részleteket
A kis dolgok nagy változást hozhatnak a napi{0}}-napi használatban:
Tér: Ha szűk a műhely, a torony{0}}stílusú UTW1500X (166015102000 mm) értékes alapterületet takarít meg. Helyre van szüksége a bővítéshez? Válassza a 2C2D/4C4D+interfésszel rendelkező modelleket (például UTW-1500 vagy UTW-3000).
Anyagok: Az ostya érintkező részeinek PEEK/PTFE/KERÁMIA kell lenniük, vagy kompatibilisek az ASML/Nikon felszereléssel,{0}}hogy elkerülje az ostyák szennyeződését.
Szoftver: Windows 10 vagy újabb rendszeren kell futnia-nincs értelme olyan elavult rendszerekkel foglalkozni, amelyek ütköznek a telepítéssel.
4. Ellenőrizze a hitelesítő adatokat és az értékesítés utáni-támogatást
Egy jó gép csak annyira megbízható, mint a mögötte álló cég:
Keresse az ISO, IAF és CNAS tanúsítvánnyal rendelkező gyártókat -ez a bizonyíték arra, hogy megfelelnek az iparági szabványoknak.
Erősítse meg, hogy gyors javítást (MTTR legfeljebb 4 óra) és megbízható műszaki támogatást kínál. Ha egy gép lemerül, nem várhat heteket a segítségre.
5. Gyors modellválasztás a gyakori forgatókönyvekhez
2-6 hüvelykes K+F vagy kis szériás gyártás(összetett félvezetők, LED-ek, optikai eszközök): UTW-1500/UTW1500X. Költséghatékony-, a legtöbb alapvető folyamattal működik, és gond nélkül kezeli az elvetemült/szögletes lapokat,-amellett a törési arány rendkívül alacsony (kevesebb, mint 0,01%).
4-8 hüvelykes középkategóriás chipek tömeggyártása(tápegységek, IC-k, memóriachipek): UTW-2000A. 180 nm-es pontossággal és egyenletes, 160 db/h-s áteresztőképességével a közepes méretű vonalak igáslója. A konzisztens feldolgozás érdekében akár 24 hideg/főzőlap modullal is rendelkezik.
8-12 hüvelykes csúcskategóriás chipek tömeggyártása(memóriachipek, CoWoS csomagolás): UTW-3000. Ez itt a legjobb teljesítmény – 45 nm-es pontosság, 200 db/h átviteli sebesség és olyan fejlett folyamatok támogatása, mint a KrF és az ArF. A FOUP/SMIF kazettás kompatibilitás tisztán tartja az érzékeny chipeket.
Szóköz{0}}korlátozott kis vonalak: UTW1500X. Ez a toronykialakítás életmentő a szűk helyeken, és még mindig eléri az összes alapvető teljesítményt.
Speciális eljárások vagy páratlan -formájú ostyák: UTW-2000Z. Szinte minden folyamatot lefed (I vonal, KrF, ArF, Package), és akár 38 hideg/fűtőlap modullal rendelkezik – tökéletesek az egyedi munkákhoz vagy a trükkös aljzatokhoz.
