Belefáradt, hogy a terjedelmes berendezések átveszik a laboratóriumot vagy a kis termelési területet? Az RTP-100 asztali RTP rendszer kis méretű (maximum 6 hüvelykes) szeletek számára készült,-tökéletes olyan csapatok számára, akiknek pontosságra van szükségük a négyzetméterek feláldozása nélkül. Egyszerű, megbízható, és a kutatók és a kisszériás gyártók mindennapi igényeire szabott.
Mit szeretünk benne
Illik, mint egy kesztyű: 910 mm × 860 mm × 695 mm (Sz × M × Ma) esetén becsúszik a szűk sarkokba vagy a zsúfolt munkaasztalokba. Nincs szükség a teljes beállítás átrendezésére, csak a hőfeldolgozási képesség hozzáadásához.
Hőmérsékletszabályozás, amire számíthat: Kétféleképpen szabályozható a hő-hőelem szobahőmérséklet 800 fokig, infravörös pirométer pedig 500 és 1200 fok között. Akár 150 fok/s-ig felmelegíti az ostyákat (sokkal gyorsabban, mint a SiC vagy grafit hordozók esetében, amelyek 20-30 fok/s-on zárnak le). És a következetesség? Legfeljebb ±3 fokkal egyenletes 600 fok alatt, ±0,5%-kal kevesebb vagy egyenlő e fölött, plusz ±1 fokos ismételhetőség – így az eredmények nem változnak tételenként.
Nincs-felhajtás: A kézi be- és kirakodás egyszerűvé teszi a dolgokat (nagyszerű, ha jobban szereti a kézi vezérlést-), míg a hangjelzés és a figyelmeztető lámpák jelzik, ha valami ki van kapcsolva. A PC-vezérlés megkönnyíti a paraméterek beállítását is,-nincs szükség bonyolult képzésre.
Lefedi az alapokat (majd néhányat): 30 mTorr nyomásig kezeli a vákuumot, 3 ppm alatt tartja az oxigént, és akár 4 MFC csatornát is támogat. Legyen szó ionimplantációs hőkezelésről, oxidos növesztésről vagy kis minták hőkezeléséről, az összes négyzetet ellenőrzi az alapvető gyors termikus feldolgozás érdekében.
Kinek szól
Ez nem a nagyméretű-gyárakra- vonatkozik, hanem a napi kísérleteket végző laboratóriumi technikákra, a kis gyártókra, akik egyedi alkatrészeket gyártanak, vagy az új anyagokat tesztelő kutatócsoportot. Ha kis ostyákkal dolgozik, és egyenletes eredményekre van szüksége az ipari-méretű felszerelések gondjai nélkül, akkor ez az Ön számára készült.
Gyors tippek a helyes használathoz
Hőmérséklet módok váltása: Használja a hőelemet 800 fokos hőmérséklethez, és kapcsolja át infravörösre a PC-szoftverben minden melegebb dologhoz. A rendszer automatikusan kalibrálja magát-szép érintés.
Ostya betöltése: Ne hagyja ki a tiszta kesztyűt! Ujjlenyomatok vagy por tönkreteszi az eredményt. Óvatosan kezelje, ne ejtse le, és ügyeljen arra, hogy a hordozó középpontjában legyen-egyszerű lépések, amelyek később elkerülhetik a fejfájást.
Gyakori javítások: Ha a berregő megszólal indításkor, először ellenőrizze, hogy az üreg ajtaja szorosan be van-e zárva (ezt mind elfelejtettük!). Ha a fűtési sebesség nem éri el a 150 fok/s értéket, győződjön meg arról, hogy nem használ olyan hordozót,{2}} amely lelassítja. És ha az ostya váratlanul oxidálódik, ellenőrizze még egyszer- a vákuumot (30 mTorr vagy annál kisebbnek kell lennie) és az oxigénszintet (tartsa meg<3 ppm).
A karbantartás, ami számít: Hetente törölje le a kvarckamrát alkohollal,{0}}hamarabb lerakódik a szennyeződés, mint gondolná. Ellenőrizze a lámpákat 3 havonta (cserélje ki 1000 óra után), és havonta a tömítőgyűrűket, hogy nincsenek-e repedések. Ja, és ne hagyja, hogy a vízhűtés 70 fok fölé emelkedjen, -ez egy gyors módja az alkatrészek sérülésének.
Szilárd igásló
A SEMI S2 szabványoknak megfelelő tanúsítvánnyal rendelkező készülék tartósnak készült. Nincsenek benne olyan feltűnő extra funkciók, amelyeket soha nem fog használni, de a lényeget megragadja: pontosság, kompaktság és könnyű használat. Azon laboratóriumok és kis csapatok számára, akiknek nap mint nap működő hőfeldolgozási megoldásra van szükségük, az RTP-100 egy nem-agy. Nem tökéletes (semmi sem az!), de megbízható – és ez számít, amikor a kísérleteket vagy a termelést a pályán akarod tartani.
