Az Oxidation and Diffusion RTP Equipment egy alapvető hőfeldolgozó eszköz félvezetőkhöz,{0}}amely az oxidációt, a diffúziót és az izzítást egyetlen robusztus egységben egyesíti. Zökkenőmentesen működik szilíciummal, szilícium-karbiddal és más kritikus anyagokkal, akár 8 hüvelykes lapkákat is kezel, és megbízható teljesítménye és pontos vezérlése révén szerzett hírnevet, amely megfelel a félvezető-feldolgozás napi --igényének.
Alapvető alkalmazások
1. Szilícium{1}}alapú eszközök tömeggyártása: Ez az IC-k, IGBT-k és hasonló összetevők mögötti igásló. Használhatja szigetelő fóliák oxidációval történő növesztésére, diffúzióval adalékolási szintek tárcsázására és a hibák kisimítására-, miközben lépést tart a fogyasztói elektronikában és az ipari vezérlésben szükséges nagy-mennyiségű kimenettel.
2. Széles-sávú anyagfeldolgozás: Ez az eszköz valóban a sajátja olyan fejlett anyagokkal, mint a SiC és a GaN. Lehetővé teszi az adalékkoncentráció megfelelő beállítását és az anyagfelületek kisimítását, ami kulcsfontosságú a nagy teljesítményű alkatrészek-thint teljesítménymoduljainak elkészítéséhez olyan új energetikai járművekhez, amelyeknek ki kell állniuk a nehéz körülmények között is.
3. Félvezető kutatás és fejlesztés: Az egyetemek és laboratóriumok esküsznek rá a rugalmasságáért. Ez egy több-folyamatos platform, amely lehetővé teszi a kutatók számára az oxidáció, a diffúzió és egyebek közötti problémamentes váltást,-tökéletes új anyagok, például gallium-oxid tesztelésére vagy kísérletek futtatására, hogy megtudják, hogyan rázódnak ki a különböző paraméterek.
Ideális felhasználók
1. Nagyméretű-gyártó cégek: Ha fogyasztói elektronikai cikkekhez vagy új energetikai járművekhez vásárol félvezetőket, akkor ez a berendezés kötelező-. Az all{4}}az-minden egyben kialakítása csökkenti a többletköltségeket és mozgásban tartja a munkafolyamatokat, miközben egyenletes teljesítménye biztosítja, hogy a termelés a pályán maradjon, és a hozamok egyenletesek maradjanak-a váratlan leállások nem lassítanak.
2. Kutatóintézetek és egyetemek: Az új félvezető anyagokat kutató csapatok számára ez az eszköz megfelelő. Könnyedén kezeli a kis-kötegelt kísérleteket, sokféle anyaggal működik, és lehetővé teszi a folyamatparaméterek szükség szerinti beállítását,-hogy felgyorsítsa az innováció ütemét anélkül, hogy az eredményeket veszélyeztetné.
3. Közepes és kisméretű készülékgyártók: Ha egyedi megrendelésekkel kell zsonglőrködnie a kötegelt gyártással, ez a berendezés okos választás. Többféle anyaggal működik, így nem kell külön szerszámokat vásárolnia a különböző folyamatokhoz, és 1-4 folyamatcsöves beállításával növelheti vagy csökkentheti a kapacitást. Ez az agilitás nagy előnyt jelent, ha egy gyorsan változó piacon próbál versenyképes maradni.
