A háromdimenziós optikai profilométer mikrométertől nanométerig terjedő pontosságú mérést végez fehér fény interferencia vagy konfokális technológia révén, és elemzi a szilárd anyagfelületek háromdimenziós morfológiáját, érdességét és kontúrját. Ez a műszer érintésmentes mérési jellemzőkkel rendelkezik, elkerülve a mért felület sérülését, és különféle anyagokhoz, például átlátszó/fém/magas visszaverődéshez alkalmas. A mechanikai gyártás, a félvezetők, a repülőgépgyártás stb. területén a 3D optikai profilométereket széles körben használják minőségellenőrzésben, folyamatfelügyeletben és termékfejlesztésben.
2025-re az olyan mainstream modellek, mint a ZeGage Pro és a SuperViewW1 egyaránt rendelkeznek szeizmikus teljesítménnyel és automatizált mérési képességekkel, a mérési pontosság meghaladja a 0,1 nm szintet. A műszer funkciói közé tartozik a mikromorfológiai elemzés, a görbületszámítás és a vékonyréteg-karakterisztika detektálása, amelyek megfelelnek az ISO 25178 szabványnak, és a modern precíziós gyártás központi érzékelő berendezésévé váltak.
