Termék áttekintése

Az Automated Wafer Inspection Microscope lapkaszintű automatizált ellenőrző eszközök olyan iparágak számára, mint a félvezetők, panelkijelzők és fotovoltaik. Hatékony és pontos megoldásokat kínálnak a minták ellenőrzésére, elemzésére és feldolgozására.

Termék pozicionálás

A Zeiss optikai technológiát használó, moduláris tervezést és intelligens algoritmusokat alkalmazó automatizált lapka-ellenőrző mikroszkópok az ostyák teljes igényeit lefedik, az automatizált be- és kirakodástól kezdve a több-dimenziós ellenőrzésen, a hibajelölésen át a jelentéskészítésig, a könnyű használat és a professzionalizmus egyensúlyát teremtve.

Előnyök

① Nagy{0}}hatékonyságú munkamódok

② Kulcsrakész ostya vizsgálati megoldás

③ Valós idejű-mérés pontos adatokkal

④ Bőséges objektív opciók

⑤ Intelligens és gyors autofókusz

⑥ Intelligens és hatékony lézeres hibajelölés

⑦ Navigációs térkép előnézet, rajz összehasonlítás, pontos helymeghatározás

⑧ Harmadik-felek kompatibilitása, amely lehetővé teszi az automatikus ostyakezelést

Alkalmazások

Félvezető gyártás
Panel kijelző
Fotovoltaikus ipar

Paraméterek

XY szakasz	8 hüvelykes wafer XY kézi/motoros színpadmodul XY pontosság: 2 μm vagy annál kisebb Hatótávolság: 205 mm × 205 mm Tengelykapcsoló fogantyú a gyors mozgáshoz
Z-tengely szakasz	Z-tengely kézikerék A Z-tengely finomhangolási pontossága-: kisebb vagy egyenlő, mint 1 μm Hatótávolság: 36 mm vagy annál nagyobb
Objektív lencse	Vegye át a Zeiss eredeti kézi/elektromos mikroszkóp orrrészét Zeiss EC EpiPlan Objectives, EC Epiplan Apochromat Objectives és EC Epiplan Neofluar Objectives
Fényforrás	5W-os LED áteresztő fényforrás 10 W-os LED fényvisszaverő fényforrás
Ostya betöltési szakasz	Kompatibilis a több-méretű ostyaasztallal (4 hüvelykes, 6 hüvelykes és 8 hüvelykes ostyákkal kompatibilis) Átvitel engedélyezett, levehető lapka munkaasztal és az LCD panel érzékelési funkciója támogatott
Képalkotó megfigyelés	Kompatibilis a Zeiss Axiocam sorozatú kamerákkal vagy a harmadik részes kamerákkal Zeiss szemlencsék (opcionális) Világos és sötét mezős megfigyelési módokat kínál, opcionális differenciális interferenciakontraszt, fluoreszcencia és polarizált módokkal
Távirányító fogantyúja	Objektív lencse váltó gomb A megvilágítás fényintenzitás-szabályozó gombja, és automatikusan beállíthatja az aktuális fényintenzitást az objektívnek/megfigyelési módnak megfelelően Visszavert megvilágítás és áteresztett megvilágítás kapcsológomb Telex Z{0}}tengely fókusz gomb, XY mozgástengely távérzékelés Hibajelzés és az autofókusz gomb
Autofókusz modul	Kompatibilis az aktív autofókusz modullal, megvalósítja a megfigyelt objektum valós idejű fókuszálási funkcióját-50× objektív alatt
Hibajelző modul	Kompatibilis a hibajelző modullal a mintahibás alkatrészek valós idejű-jelölése érdekében
Ostyakezelő modul	Kompatibilis az ostyakezelő modulokkal az ostyák automatikus be- és kirakodása érdekében

GYIK

Milyen méretű ostyákat tud megvizsgálni? Más méreteket is meg lehet nézni?

4 hüvelykes, 6 hüvelykes és 8 hüvelykes ostyákkal kompatibilis. A tárgyasztal eltávolítása után az LCD panelek vizsgálatára is használható.

Milyen optikai technológiát használ?

Folytatja a Zeiss évszázados{0}}optikai minőségét, és integrálja az ICCS optika előnyeit. Minden objektív eredeti Zeiss objektív, beleértve az akromatikus, fél{2}}apokromatikus és apokromatikus objektíveket is. Támogatja a világos, sötét mező, DIC, polarizált és fluoreszcens megfigyelési módokat is.

Nehéz kezelni? A modulokat magamnak kell összeszerelnem?

Nem, ez egy kulcsrakész megoldás. Ergonomikus szemlencsék, távoli fogantyú és kezelőszoftver mind integrálva vannak. Az egész folyamat nem igényel további fejlesztést, és még a kezdők is gyorsan elkezdhetik.

Működtethető automatikusan vagy távirányítóval?

Távirányítható a fogantyúval, amely gyorsbillentyűkkel rendelkezik az objektívek váltásához és a megvilágítás beállításához. Felszerelhető motoros XYZ színpaddal, autofókuszos és szeletkezelő modulokkal is, amelyek lehetővé teszik az automatikus be- és kirakodást, valamint a folyamatos fókuszkövetést.

Milyen az elmozdulás pontossága? Mennyire működik jól az autofókusz?

Az XY motoros tárgyasztal 2 μm-nél kisebb vagy azzal egyenlő, a Z-tengely finom-hangolási pontossága pedig legfeljebb 1 μm. Az automatikus élességállítás 660 nm/780 nm/808 nm fényforrást, nagy{8}}képsebességű- kamerát és algoritmusokat használ, amelyek lehetővé teszik a gyors fókuszálást és a folyamatos követést. Támogatja a Zeiss Axioscope sorozatú mikroszkópok frissítését is.

Milyen anyagokon használható a lézeres hibajelölés?

Két lézer, 450 nm és 532 nm áll rendelkezésre. Az olyan anyagok, mint a króm, alumínium, ITO, réz és szilikongyanta használhatók a mikron alatti szint jelölésére és javítására.

Certificaciók

Cégünk optikai berendezései (beleértve az optikai feldolgozó berendezéseket és az optikai ellenőrző berendezéseket is) sikeresen megszerezték az ISO minősítést.